微小氣體流量計(jì)|廣州微型氣體流量計(jì)|小體積氣體流量傳感器|極小氣體流量傳感器 廣東微型氣體流量傳感器|廣州氣體流量傳感器|廣州微小氣體傳感器 HFS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出,通過(guò)通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。 產(chǎn)品特點(diǎn): ? 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量 ? 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,*保*了傳感器的高精度計(jì)量 ? 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高 ? 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓 ? 零點(diǎn)穩(wěn)定度高 ? 全量程高穩(wěn)定性、高精度和優(yōu)良的重復(fù)性 ? 低功耗、低壓損 ? 響應(yīng)速度快 型號(hào):HFS4001 流量范圍:0~30,100,200,500,1000, sccm 量程比:>100:1過(guò) 精度:±(1.5±0.5FS)% 重復(fù)性:±0.25% 零點(diǎn)輸出飄逸:±30 mV 輸出飄逸:0.2 %/oc 響應(yīng)時(shí)間:4,8,16,33,65,131 ms 工作電源:8~18Vdc,50mA 輸出方式:RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc 流量壓損:350 300 Pa 流量壓力:0.5 MPa 工作溫度:-5~+55 oC 存儲(chǔ)溫度:-20~+65 oC 工作濕度: