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公司基本資料信息
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在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。但白光干涉儀由于鏡頭視野較小,要想測量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況,只能用自動拼接測量功能,但耗時(shí)較多,這時(shí)候可以用自動多區(qū)域測量功能,在樣品表面抽取多個(gè)測量區(qū)域進(jìn)行測量,從而對樣品進(jìn)行評估分析。
中圖儀器SuperViewW系列非接觸三維光學(xué)輪廓儀自動拼接功能的使用,即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結(jié)構(gòu),當(dāng)必須測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時(shí),都可以采用自動拼接,可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換,無論何種形貌,都可生成3D全景。
測量方法很簡單:
1.點(diǎn)擊XY復(fù)位,使得SuperViewW系列非接觸三維光學(xué)輪廓儀的鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上,被測物中心大致和載物臺中心重合;3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件;4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度,找到干涉條紋;5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍;6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo),確認(rèn)自動找條紋上下限無誤;7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo),可選擇方形和(橢)圓形兩種測量區(qū)域形狀;9.根據(jù)被測物形狀和尺寸,"形狀"欄選擇“橢圓平面",X和Y方向按需設(shè)置;10.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo),儀器即自動完成多個(gè)區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。
深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來,一直堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,在微納米運(yùn)動設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。