|
公司基本資料信息
|
激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的*大特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達(dá)到納米*,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。
激光干涉儀與不同光學(xué)附件結(jié)合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機(jī)床誤差來源;而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù),更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。
與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo),目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都**使用激光干涉儀。因此,用激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。
SJ6000激光干涉儀主要技術(shù)指標(biāo):
主機(jī)
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
預(yù)熱時(shí)間:≤ 6分鐘
工作溫度范圍:(0~40)℃
存儲溫度范圍:(-20~70)℃
環(huán)境濕度:(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器:±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量
測量距離:(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
測量精度:0.5ppm (0~40)℃
測量分辨力:1nm
測量*大速度:4m/s
角度測量
軸向量程:(0~15)m
測量范圍:±10°
測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
測量分辨力:0.1″
平面度測量
軸向量程:(0~15)m
測量范圍:±1.5mm
測量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
基板尺寸:180mm可調(diào),360mm可調(diào)
測量分辨力:0.1μm
直線度測量
|
軸向量程 |
測量范圍 |
測量精度 |
分辨力 |
短距離 |
(0.1~4.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm |
0.01μm |
長距離 |
(1.0~20.0)m |
±3mm |
±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
0.1μm |
注:R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m |
垂直度測量
|
軸向量程 |
測量范圍 |
測量精度 |
分辨力 |
短距離 |
(0.1~3.0)m |
±3/M mm/m |
±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m |
0.01μm/m |
長距離 |
(1.0~15.0)m |
±3/M mm/m |
±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m |
0.01μm/m |
注:R為垂直度結(jié)果;M為測量距離,單位:m |
自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺
型號:WR50
角度測量范圍:(0~360)°
測量精度:±1″
分辨力:0.1″
*高轉(zhuǎn)速:10rpm
*高跟蹤速度:2rpm
重量:1.9kg
高度:148mm
直徑:112mm
通信方式:藍(lán)牙傳輸
供電方式:鋰電池
正交觸發(fā)盒
信號輸入:差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號
輸出形式:10μs脈沖
觸發(fā)延時(shí):0.1μs
供電電源:12VDC
尺寸重量與供電
便攜箱尺寸:613mm×460mm×230mm
標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg
供電電源:(100~240)VAC
安全要求
激光的安全等*達(dá)到Class I要求