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公司基本資料信息
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激光干涉儀是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量的儀器。激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問世的一種新型的測(cè)量設(shè)備,由美國(guó)HP公司研制成功并于1970年投入市場(chǎng),隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機(jī)床制造業(yè)的重視,其主要在:線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測(cè)量技術(shù)的不斷提高,測(cè)量軟件的不斷開發(fā)其測(cè)量范圍越來越廣泛,特別是在測(cè)量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途*為廣泛。
國(guó)產(chǎn)激光干涉儀代表為中圖儀器SJ6000激光干涉儀。SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量,并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
激光干涉儀工作原理(SJ6000)
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而**道透射光束(測(cè)量光束)則通過分光鏡射入**個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
若光程差有變化時(shí),探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
國(guó)產(chǎn)激光干涉儀(SJ6000)技術(shù)參數(shù):
系統(tǒng)性能
測(cè)量方式:?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
預(yù)熱時(shí)間:約6分鐘
工作溫度范圍:0~40℃
環(huán)境溫度范圍:0~40℃,環(huán)境濕度:0~95%
存儲(chǔ)溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測(cè)量
測(cè)量距離:0-40m
測(cè)量精度:0.5ppm (0-40℃)
測(cè)量分辨率:1nm
測(cè)量*大速度:4m/s