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公司基本資料信息
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激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的(位置和幾何)精度校正,并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量各項(xiàng)參數(shù),如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外,它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能,如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償(適用大多數(shù)控系統(tǒng)),機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估,回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定,觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
激光干涉儀的功能有以下幾方面:
1.自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償。激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的位置精度,而且還能通過(guò)RS232接口使計(jì)算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)通信,對(duì)誤差進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償。它比通常的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量的時(shí)間,同時(shí)可*大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到*佳精度。
2.回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定?;剞D(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對(duì)數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)在任意角度位置,以任意測(cè)量間隔進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量及補(bǔ)償。
3.機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)試與評(píng)估。利用中圖動(dòng)態(tài)特征測(cè)量與評(píng)估軟件,可用干涉儀進(jìn)行杌床振動(dòng)測(cè)試與分析、滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析、導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性(低速爬行)分析等,從而幫助用戶對(duì)機(jī)器源進(jìn)行分析。
4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入,可實(shí)現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù),從而可實(shí)現(xiàn)類似于激光絲杠動(dòng)態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動(dòng)鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出,可用激光干涉儀定時(shí)或定距發(fā)出脈沖,從而實(shí)現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能。
5.其他用戶接口裝置。可用中圖公司提供的特殊接口軟件,對(duì)于現(xiàn)有某些*牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶,配合中圖激光干涉儀校準(zhǔn)軟件,實(shí)現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測(cè),從而節(jié)省用戶投資費(fèi)用。
中圖儀器激光干涉儀技術(shù)參數(shù):
系統(tǒng)性能
測(cè)量方式:?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
預(yù)熱時(shí)間:約6分鐘
工作溫度范圍:0~40℃
環(huán)境溫度范圍:0~40℃,環(huán)境濕度:0~95%
存儲(chǔ)溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測(cè)量
測(cè)量距離:0-40m
測(cè)量精度:0.5ppm (0-40℃)
測(cè)量分辨率:1nm
測(cè)量*大速度:4m/s